高温压力传感器是在常规的测量方法和手段不能满足高温等恶劣环境下的压力测量和自动化领域越来越高的测量精度要求下出现，致使我国高温压力传感器产品长期以来主要依赖进口。耐高温压力传感器能在-30℃～250℃环境下进行压力测量，可完成1000Mpa以下任意量程范围的压力测量，能承受2000℃瞬时高温冲击。可满足高温、高压、高频响及瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力测量，具有自主知识产权，填补了国内在此领域的多项空白，对于推动我国仪器仪表工业的发展，培养新的经济增长点具有重要意义。
一种可抗2000℃瞬时超高温冲击的硅隔离耐高温压力传感器日前在西安交大精密工程研究所研制成功。专家认为，这一国家"863"计划项目的完成，将有效解决我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下压力测量和瞬时高温冲击下传感器失效的技术难题，打破了国外同类产品对我国传感器市场的垄断，提升了我国这一行业的整体水平和国际竞争能力，具有很高的推广和使用价值。常规的硅压力传感器只能120℃以下进行压力测量，超过120℃时，传感器的性能会严重恶化以至失效。
传感器由双膜片构成：钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石膜片，被熔焊在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上。在压力的作用下，钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比。电桥电路将电桥的失衡信号，转换为电压信号输出。
工作原理
抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥(闭桥)，由于电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0／3.0／3.3mV／V等，可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定，传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性，传感器自带温度补偿0～+70℃，并可以和绝大多数介质直接接触。
